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製品の詳細
製品概要：
本装置はサンプルに対して接眼鏡観察、カメライメージング、ラマンスペクトル検出及びラマンスペクトルイメージングなどの機能を行うことができる集積化ラマン分光計である。
計器はラマン分光器、ラマン共焦点モジュール、大プラットフォーム検出顕微鏡などで構成されている。
特徴：
1.新しいMX大プラットフォーム検出顕微鏡、最大サポート300mmウエハ及び17インチ液晶パネルの点検4、6、8、12インチの複数のターンテーブルがあり、異なるサイズのウェハ検査に適しています。
2.3つの異なる波長のラマン分光計検出モジュールを同時に挿入することができ、ソフトウェア上で異なる分光計間の切り替えを行うことができ、多波長ラマンの高速自動検出を実現することができる。
3.サポート可能405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nmなどの複数の波長があり、異なるサンプル、検出精度に対する顧客の異なるニーズを満たすために、非冷却、冷房、深さ冷却などの異なる性能の分光計を組み合わせることができる。
4.自動プラットフォームを選択すれば、自動ポイントスキャンによる高スペクトルイメージングも実現できる。
技術パラメータ
顕微鏡パラメータ：
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光学系 |
無限遠光学系 |
フォーカシング機構 |
粗微動同軸焦点調整、微動格子値：1ミクロン |
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最大ストローク：35 mm |
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接眼レンズ |
大視野（視野数25 mm） |
対物レンズ回転器 |
ヘキサホール変換器 |
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対物レンズ |
5X、10X、20X、50X、100X 無限遠明暗場半復消金相対物レンズ |
ステージ |
プラットフォーム面積：718 X 420 |
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移動範囲：356 X 305 |
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クラッチハンドル付き |
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電動プラットフォーム |
プラットフォーム面積：495 X 641 |
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移動範囲：306 XXI 06 |
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繰り返し精度：(3+L/50)um |
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照明システム |
シェーディングフィールド反射照明器 |
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組み込み視野/開口ライトバー |
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カラーフィルタ付き偏光装置スロット |
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三眼鏡筒 |
瞳距離55 mm-75 mm、 |
CCDアダプタ |
0.5X C-mount |
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分光比：50/50100/0、0/100 |
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観察方法 |
明場、暗場、偏光、DIC |
その他 |
高精度マイクロメータ |
包装リスト
ラマン分光計パラメータ：
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ラマンスペクトル範囲 |
200-3600cm-1 |
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解像度 |
<15cm-1@25μm slit |
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レーザ |
532±1 nm、線幅≦0.2 nm |
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レーザパワー安定性 |
≤3% P-P(@2hrs) |
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しゅつりょくでんりょく |
0-100 mW調整可能 |
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フィルタレーザカットオフ深さ |
OD8 |
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動作温度 |
0-40℃ |
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さぎょうしつど |
5-80% |
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レーザ寿命 |
5000hrs |
オンライン照会
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連絡先
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会社
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電話番号
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